发明公开
- 专利标题: 一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构
- 专利标题(英): Ejector pin elevating mechanism used for vacuum plating equipment
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申请号: CN201410241015.7申请日: 2014-05-30
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公开(公告)号: CN105331947A公开(公告)日: 2016-02-17
- 发明人: 李冰 , 佘清
- 申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
- 专利权人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: C23C14/50
- IPC分类号: C23C14/50
摘要:
本发明公开了一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构,涉及真空镀膜技术领域,为解决将顶针升降机构装配到真空镀膜设备上的装配效率低的问题。所述顶针升降机构包括:与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应的三个顶针组件,每个顶针组件包括:固定安装在预留孔中的直线轴承,穿插在预留孔中和直线轴承的轴承孔中的顶针,顶针的上端设有可通过预留孔、且能防止顶针从轴承孔中脱落的限位帽;位于支撑台的下方用于承托三个顶针的托板;以及位于真空腔室外并与托板相连用于驱动托板升降的驱动单元。本发明提供的顶针升降机构用于真空镀膜时取放基片。
公开/授权文献
- CN105331947B 一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构 公开/授权日:2018-08-24
IPC分类: