一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构
摘要:
本发明公开了一种用于真空镀膜设备中的顶针升降机构,涉及真空镀膜技术领域,为解决将顶针升降机构装配到真空镀膜设备上的装配效率低的问题。所述顶针升降机构包括:与真空腔室内的支撑台上的三个预留孔一一对应的三个顶针组件,每个顶针组件包括:固定安装在预留孔中的直线轴承,穿插在预留孔中和直线轴承的轴承孔中的顶针,顶针的上端设有可通过预留孔、且能防止顶针从轴承孔中脱落的限位帽;位于支撑台的下方用于承托三个顶针的托板;以及位于真空腔室外并与托板相连用于驱动托板升降的驱动单元。本发明提供的顶针升降机构用于真空镀膜时取放基片。
公开/授权文献
0/0