制造半导体器件的方法
摘要:
改进了在半导体器件内形成的编码的读取可靠性。根据一个实施例的制造半导体器件的方法包括在多个器件区域DVP内形成密封体的步骤,在布线衬底的器件区域DVP外部形成编码(第一标识信息)MK3。另外,根据一个实施例的半导体器件的制造方法包括在形成密封体MR之后,读取编码MK3,并且将另一编码(第二标识信息)附加到密封体MR的步骤。另外,在形成密封体的步骤之前,在形成编码MK3的标记区域MKR和器件区域DVP之间形成坝状物部分DM。
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