发明授权
- 专利标题: 一种对位曝光方法
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申请号: CN201510249494.1申请日: 2015-05-15
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公开(公告)号: CN104808451B公开(公告)日: 2017-07-18
- 发明人: 余学权 , 吴斌 , 李坤 , 任立志 , 沈文俊 , 高亚东
- 申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号;
- 专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号;
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: G03F9/00
- IPC分类号: G03F9/00
摘要:
本发明公开一种对位曝光方法,涉及显示面板制造技术领域,为解决使用现有的对位曝光方法无法实现对大于掩膜板尺寸的透明基板进行曝光的问题。所述对位曝光方法,包括一次对位曝光过程和二次对位曝光过程,一次对位曝光过程中在透明基板的至少一侧边缘形成多对对位标记,二次对位曝光过程中使用的掩膜板的至少一侧边缘上设有一对标记孔;在二次对位曝光过程的多次掩膜板对位过程中,使掩膜板上的一对标记孔逐一与透明基板上对应侧的各对对位标记对正。本发明提供的对位曝光方法用于对大于掩膜板尺寸的透明基板进行多次拼接的二次曝光。所述对位曝光方法用于显示基板的制作。
公开/授权文献
- CN104808451A 一种对位曝光方法 公开/授权日:2015-07-29