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用于制造微载体的方法
摘要:
本发明涉及一种用于制造微载体的方法,其包含下列步骤:(a)提供一种具有夹层结构的晶片(6),其包含底层(7),顶层(8)和位于所述的底层和顶层(7,8)之间的绝缘层(9),(b)蚀刻掉顶层(8)以勾画微载体的本体(11)的侧壁(12),(c)至少在本体(11)的上表面(14)上沉积第一活性层(13),(d)将连续的聚合物层(16)涂覆在第一活性层(13)上,(e)蚀刻掉底层(7)和绝缘层(9),(f)去除聚合物层(16)以释放微载体。
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