- 专利标题： 用于去除和防止金属线表面形成氧化物的组合物
-
申请号： CN201380049569.0申请日： 2013-07-24
-
公开(公告)号： CN104662202B公开(公告)日： 2017-06-20
- 发明人: 崔好星 , 柳匡铉 , 裵锺一 , 李锺淳 , 梁惠星 , 河相求
- 申请人： LTC有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： LTC有限公司
- 当前专利权人： LTC有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 滕一斌
- 优先权： 10-2012-0080440 20120724 KR
- 国际申请： PCT/KR2013/006615 2013.07.24
- 国际公布： WO2014/017819 KO 2014.01.30
- 进入国家日期： 2015-03-24
- 主分类号： C23F1/44
- IPC分类号： C23F1/44 ; C23F1/10
摘要：
本发明提供一种在制造半导体电路、有机发光二极管、LED或液晶显示器的过程中，去除形成在铜膜表面的氧化物，且不会引起更低层金属膜的腐蚀的方法。该组合物包括腐蚀性胺，可去除金属氧化物，这取决于范围为0.01‑10％的添加剂，而不论超纯水的含量为多少。当其同样含有水和0.01‑20％的添加剂时，除了腐蚀性胺以外，其它极性溶剂可有效去除金属表面的氧化物。
公开/授权文献
- CN104662202A 用于去除和防止金属线表面形成氧化物的组合物 公开/授权日：2015-05-27
IPC分类:
