感光性树脂组合物
摘要:
提供显影残膜率较高且为高感光度,显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物,其含有:(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中,R1和R2分别独立地表示碳数2~60的2价~8价的有机基团,R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1~20的1价的有机基团,d和e分别独立地为0~2的整数且不同时为0,f和g分别独立地为0~4的整数,且n为正整数);(b)二叠氮基醌化合物;以及(c)特定结构的酚醛树脂。
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