发明公开
- 专利标题: 感光性树脂组合物
- 专利标题(英): Photosensitive resin composition
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申请号: CN201380048156.0申请日: 2013-09-13
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公开(公告)号: CN104641293A公开(公告)日: 2015-05-20
- 发明人: 本多正树 , 金田隆行 , 吉田雅彦 , 汤之口智恵 , 小仓知士
- 申请人: 旭化成电子材料株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 旭化成电子材料株式会社
- 当前专利权人: 旭化成株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2012-204661 2012.09.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/074930 2013.09.13
- 国际公布: WO2014/046062 JA 2014.03.27
- 进入国家日期: 2015-03-16
- 主分类号: G03F7/023
- IPC分类号: G03F7/023 ; C08G8/20 ; C08G69/26
摘要:
提供显影残膜率较高且为高感光度,显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物,其含有:(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中,R1和R2分别独立地表示碳数2~60的2价~8价的有机基团,R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1~20的1价的有机基团,d和e分别独立地为0~2的整数且不同时为0,f和g分别独立地为0~4的整数,且n为正整数);(b)二叠氮基醌化合物;以及(c)特定结构的酚醛树脂。
公开/授权文献
- CN104641293B 感光性树脂组合物 公开/授权日:2019-04-19
IPC分类: