一种或非门闪存存储器
摘要:
本发明公开了一种或非门闪存存储器,包括:基底,在第一方向上开有深隔离槽,在第二方向上开有浅隔离槽,所述深隔离槽的深度大于所述浅隔离槽的深度;氧化层,位于深隔离槽内;沟道区,位于浅隔离槽内;隧穿氧化层,位于沟道区之上;浮栅层,位于隧穿氧化层之上;控制栅层,位于浮栅层之上;层间介电质层,位于浮栅层和控制栅层之间;薄膜层;依次位于控制栅层之上的合金层、氮化硅层;源极;漏极;第一金属层,位于源极和漏极之上;第二金属层,位于漏极之上的第一金属层之上;隔离层。本发明所述的或非门闪存存储器的浮栅埋入基底内,能够使得在平面尺寸不变的条件下将隔离槽长度增加,满足器件运行需要,进而能够微缩至45纳米以下。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11517 ....... · · · · · ·具有浮栅的
H01L27/11521 ........ · · · · · · ·以存储器核心区为特征的(三维布置H01L27/11551)
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