发明公开
- 专利标题: 一种或非门闪存存储器
- 专利标题(英): NOR gate flash memory
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申请号: CN201410854600.4申请日: 2014-12-31
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公开(公告)号: CN104576649A公开(公告)日: 2015-04-29
- 发明人: 冯骏 , 舒清明
- 申请人: 北京兆易创新科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层
- 专利权人: 北京兆易创新科技股份有限公司
- 当前专利权人: 兆易创新科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 胡彬; 邓猛烈
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L29/423
摘要:
本发明公开了一种或非门闪存存储器,包括:基底,在第一方向上开有深隔离槽,在第二方向上开有浅隔离槽,所述深隔离槽的深度大于所述浅隔离槽的深度;氧化层,位于深隔离槽内;沟道区,位于浅隔离槽内;隧穿氧化层,位于沟道区之上;浮栅层,位于隧穿氧化层之上;控制栅层,位于浮栅层之上;层间介电质层,位于浮栅层和控制栅层之间;薄膜层;依次位于控制栅层之上的合金层、氮化硅层;源极;漏极;第一金属层,位于源极和漏极之上;第二金属层,位于漏极之上的第一金属层之上;隔离层。本发明所述的或非门闪存存储器的浮栅埋入基底内,能够使得在平面尺寸不变的条件下将隔离槽长度增加,满足器件运行需要,进而能够微缩至45纳米以下。
公开/授权文献
- CN104576649B 一种或非门闪存存储器 公开/授权日:2017-06-20
IPC分类: