一种或非门闪存存储器
摘要:
本发明公开了一种或非门闪存存储器,包括:基底,在第一方向上开有深隔离槽,在第二方向上开有浅隔离槽,所述深隔离槽的深度大于所述浅隔离槽的深度;氧化层,位于深隔离槽内;沟道区,位于浅隔离槽内;隧穿氧化层,位于沟道区之上;浮栅层,位于隧穿氧化层之上;控制栅层,位于浮栅层之上;层间介电质层,位于浮栅层和控制栅层之间;薄膜层;依次位于控制栅层之上的合金层、氮化硅层;源极;漏极;第一金属层,位于源极和漏极之上;第二金属层,位于漏极之上的第一金属层之上;隔离层。本发明所述的或非门闪存存储器的浮栅埋入基底内,能够使得在平面尺寸不变的条件下将隔离槽长度增加,满足器件运行需要,进而能够微缩至45纳米以下。
公开/授权文献
0/0