发明公开
CN104502068A 一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法
- 专利标题(英): Device and method for detecting weak absorption of optical element
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申请号: CN201410853727.4申请日: 2014-12-30
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公开(公告)号: CN104502068A公开(公告)日: 2015-04-08
- 发明人: 郝明明 , 汪丽娜 , 路国光 , 黄云 , 恩云飞 , 岳龙
- 申请人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路110号
- 专利权人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 当前专利权人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路110号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 谢伟
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明涉及一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法,所述装置包括探测激光器、光电接收器,设置在探测激光器与光电接收器之间的第一分光元件、反射镜、第二分光元件。第一分光元件、反射镜、第二分光元件、光学元件围成平行四边形,且依次处于平行四边形的顶点。其还包括产生激励光的激励结构,光学元件表面与激励结构相对设置。相对于现有技术采用的表面热透镜技术,由于光学元件在热作用下变形很小,使得光变化信号很微弱,导致有用的光信号淹没在噪声中,而本发明由于第二激光束与第三激光束间产生的干涉图样较为明显,通过干涉图样来分析光学元件的弱吸收,其检测灵敏度更好,且本发明所述的光学元件的弱吸收装置结构也颇为简单,性价比高。