Invention Publication
- Patent Title: SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法
- Patent Title (English): Apparatus for producing SiC single crystal and method for producing SiC single crystal
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Application No.: CN201380035985.5Application Date: 2013-07-10
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Publication No.: CN104471117APublication Date: 2015-03-25
- Inventor: 冈田信宏 , 龟井一人 , 楠一彦 , 矢代将齐 , 森口晃治 , 大黑宽典 , 加渡幹尚 , 坂元秀光
- Applicant: 新日铁住金株式会社 , 丰田自动车株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 新日铁住金株式会社,丰田自动车株式会社
- Current Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 张会华
- Priority: 2012-160188 2012.07.19 JP
- International Application: PCT/JP2013/004259 2013.07.10
- International Announcement: WO2014/013698 JA 2014.01.23
- Date entered country: 2015-01-05
- Main IPC: C30B29/36
- IPC: C30B29/36 ; C30B19/06

Abstract:
SiC单晶体的制造装置(10)用于溶液生长法。SiC单晶体的制造装置(10)包括晶种轴(28)和坩埚(14)。晶种轴(28)具有供SiC晶种(32)安装的下端面(28S)。坩埚(14)用于收纳Si-C溶液(15)。晶种轴(28)包括筒部(28A)、底部(28B)和低导热性构件(28C)。底部(28B)配置于筒部(28A)的下端,且具有下端面(28S)。低导热性构件(28C)配置于底部(28B)的上表面,且具有比底部(28B)的热传导率低的热传导率。利用该制造装置,能够使SiC晶种的结晶生长面内的温度不易出现偏差。
Public/Granted literature
- CN104471117B SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 Public/Granted day:2016-10-05
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IPC分类: