SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法
Abstract:
SiC单晶体的制造装置(10)用于溶液生长法。SiC单晶体的制造装置(10)包括晶种轴(28)和坩埚(14)。晶种轴(28)具有供SiC晶种(32)安装的下端面(28S)。坩埚(14)用于收纳Si-C溶液(15)。晶种轴(28)包括筒部(28A)、底部(28B)和低导热性构件(28C)。底部(28B)配置于筒部(28A)的下端,且具有下端面(28S)。低导热性构件(28C)配置于底部(28B)的上表面,且具有比底部(28B)的热传导率低的热传导率。利用该制造装置,能够使SiC晶种的结晶生长面内的温度不易出现偏差。
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