- 专利标题: 一种锗量子点的生长方法、锗量子点复合材料及其应用
- 专利标题(英): Germanium quantum dot growing method, germanium quantum dot composite material and application of germanium quantum dot composite material
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申请号: CN201310351839.5申请日: 2013-08-13
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公开(公告)号: CN104377114A公开(公告)日: 2015-02-25
- 发明人: 李振军 , 白冰 , 杨晓霞 , 王小伟 , 许应瑛 , 戴庆 , 裘晓辉
- 申请人: 国家纳米科学中心
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村北一条11号
- 专利权人: 国家纳米科学中心
- 当前专利权人: 国家纳米科学中心
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村北一条11号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 巩克栋
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L29/15
摘要:
本发明涉及一种锗量子点的生长方法,所述方法为在石墨烯层上生长锗量子点。本发明在常规基底表面引入均匀性极高的石墨烯界面,在界面上实现了Ge量子点的生长,避免了为得到高质量界面对常规基底进行繁杂的清洗程序,简化了工艺流程;且保证了锗量子点的低杂质元素含量和低缺陷密度,且保证了锗量子点的自组织生长过程,形成了形貌统一和密度均匀的锗量子点。
公开/授权文献
- CN104377114B 一种锗量子点的生长方法、锗量子点复合材料及其应用 公开/授权日:2017-04-05
IPC分类: