在化学气相沉积反应器中用于配气的系统和方法
摘要:
本发明提供在反应器中通过化学气相沉积制造多晶硅或另一材料的系统和方法,其中利用硅竖管来分配气体。硅竖管可经由喷嘴耦合器接附到反应器系统,使得先质气体(precursor gases)可注射到反应室的不同部份。结果,可改良在整个反应室内的气体流动,这能够增加多晶硅的产率、改善多晶硅的质量和降低能量消耗。
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