Invention Publication
- Patent Title: 半导体及其制造方法
- Patent Title (English): Semi-conductor and manufacture method therefore
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Application No.: CN201410365965.0Application Date: 2014-07-29
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Publication No.: CN104347493APublication Date: 2015-02-11
- Inventor: R·G·菲立皮 , E·卡尔塔利奥古鲁 , 李伟健 , 王平川 , 张丽娟
- Applicant: 国际商业机器公司
- Applicant Address: 美国纽约
- Assignee: 国际商业机器公司
- Current Assignee: 格芯美国第二有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国纽约
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 王莉莉
- Priority: 13/953,058 2013.07.29 US
- Main IPC: H01L21/768
- IPC: H01L21/768 ; H01L23/522 ; H01L23/532

Abstract:
本发明涉及半导体及其制造方法。公开了用于防止由于电迁移和时间相关的电介质击穿而导致集成电路失效的方法和结构。以比(针对短长度效应的)临界长度小的金属盖片段之间的间隔距离在金属(通常是铜Cu)互连线上选择性形成随机图案化的金属盖层。由于Cu/金属盖界面的扩散性低于Cu/电介质盖界面的扩散性,因此具有金属盖的区域用作扩散势垒。
Public/Granted literature
- CN104347493B 半导体及其制造方法 Public/Granted day:2017-05-03
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IPC分类: