发明授权
- 专利标题： 保管设备
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申请号： CN201410287316.3申请日： 2014-06-25
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公开(公告)号： CN104253076B公开(公告)日： 2019-03-26
- 发明人: 大塚洋 , 河村真辅 , 吉本忠浩
- 申请人： 株式会社大福
- 申请人地址： 日本大阪府大阪市
- 专利权人： 株式会社大福
- 当前专利权人： 株式会社大福
- 当前专利权人地址： 日本大阪府大阪市
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 冯春时; 李婷
- 优先权： 2013-134268 2013.06.26 JP
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/67
摘要：
本发明实现一种保管设备，能够以简单的构成，抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括：在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置；向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部，将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部，节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。
公开/授权文献
- CN104253076A 保管设备 公开/授权日：2014-12-31
IPC分类:
