本发明提供一种LPCVD炉管及其主阀联锁装置电路，该电路输入端接到真空检测仪，输出端对应到炉管的工艺终止部件；该电路采用双电源输入；该电路包括：第一电阻，一端接收真空检测信号；第二电阻和电位器，串联后接于正电源端和地端间，从中提供炉管预真空的设定数值对应的比较器的动作电压；比较器，正输入端接于第二电阻和电位器间，负输入端与第一电阻另一端连接；比较器还分别与正、负电源端连接；第三电阻，一端与比较器输出端连接；三极管，基极与第三电阻另一端连接，发射极接地；继电器，一端与三极管集电极连接，另一端与正电源端连接；第四电阻，一端与三极管集电极连接；状态显示元件，一端与第四电阻另一端连接，另一端与正电源端连接。