发明公开
CN104094392A 用于将材料沉积于基板上的方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 用于将材料沉积于基板上的方法
- 专利标题(英): Method for depositing materials on a substrate
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申请号: CN201280068186.3申请日: 2012-11-28
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公开(公告)号: CN104094392A公开(公告)日: 2014-10-08
- 发明人: 丹尼斯·G.·道尔 , 托马斯·C.·普伦蒂斯 , 帕特希·A.·马特奥 , 大卫·P.·普林斯
- 申请人: 伊利诺斯工具制品有限公司
- 申请人地址: 美国伊利诺伊州
- 专利权人: 伊利诺斯工具制品有限公司
- 当前专利权人: 伊利诺斯工具制品有限公司
- 当前专利权人地址: 美国伊利诺伊州
- 代理机构: 上海脱颖律师事务所
- 代理商 脱颖
- 优先权: 13/306,130 2011.11.29 US
- 国际申请: PCT/US2012/066769 2012.11.28
- 国际公布: WO2013/082094 EN 2013.06.06
- 进入国家日期: 2014-07-25
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H05K3/12 ; C23C24/02
摘要:
本发明公开了一种通过材料沉积系统将材料沉积在电子基板上的方法。该沉积系统包括框架、连接至框架的机架系统、连接至机架系统并且配置成在电子基板上沉积粘性与半粘性材料的点的沉积头、配置成控制材料沉积系统的操作包括机架系统与沉积头的操作的控制器。该方法包括通过沿基本上不平行于材料的线路或图案的方向的移动轴移动所述沉积头而在电子基板上沉积材料的线路或图案。进一步公开了其他方法与沉积系统。
IPC分类: