晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置
摘要:
晶圆关联数据生成装置(47)具备对晶圆托盘(32)进行固定的固定台、对固定于该固定台的晶圆托盘的切割片(34)上的晶粒(31)进行吸附的测试用吸嘴(51)、将切割片中的要由测试用吸嘴吸附的晶粒的粘贴部分顶出的测试用顶出销(53)及对切割片上的晶粒进行拍摄的测试用相机(54),使用该晶圆关联数据生成装置(47),将作为晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘固定于晶圆关联数据生成装置的固定台,执行由测试用相机拍摄的图像的处理、测试用顶出销的顶出动作及测试用吸嘴的晶粒吸附动作而生成晶圆关联数据。
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