- 专利标题: 晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置
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申请号: CN201280056564.6申请日: 2012-10-30
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公开(公告)号: CN103946966B公开(公告)日: 2016-06-08
- 发明人: 保坂英希
- 申请人: 富士机械制造株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县知立市
- 专利权人: 富士机械制造株式会社
- 当前专利权人: 株式会社富士
- 当前专利权人地址: 日本爱知县知立市
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 穆德骏; 谢丽娜
- 优先权: 2011-252307 2011.11.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/078039 2012.10.30
- 国际公布: WO2013/073365 JA 2013.05.23
- 进入国家日期: 2014-05-16
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/66
摘要:
晶圆关联数据生成装置(47)具备对晶圆托盘(32)进行固定的固定台、对固定于该固定台的晶圆托盘的切割片(34)上的晶粒(31)进行吸附的测试用吸嘴(51)、将切割片中的要由测试用吸嘴吸附的晶粒的粘贴部分顶出的测试用顶出销(53)及对切割片上的晶粒进行拍摄的测试用相机(54),使用该晶圆关联数据生成装置(47),将作为晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘固定于晶圆关联数据生成装置的固定台,执行由测试用相机拍摄的图像的处理、测试用顶出销的顶出动作及测试用吸嘴的晶粒吸附动作而生成晶圆关联数据。
公开/授权文献
- CN103946966A 晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置 公开/授权日:2014-07-23
IPC分类: