- 专利标题: 光调制控制方法、控制程序、控制装置以及激光照射装置
- 专利标题(英): Light modulation control method, control program, control device and laser beam irradiation device
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申请号: CN201280053084.4申请日: 2012-10-23
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公开(公告)号: CN103917914A公开(公告)日: 2014-07-09
- 发明人: 松本直也 , 泷口优 , 安藤太郎 , 大竹良幸 , 井上卓 , 大津知子 , 丰田晴义
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2011-235245 2011.10.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/077353 2012.10.23
- 国际公布: WO2013/061960 JA 2013.05.02
- 进入国家日期: 2014-04-28
- 主分类号: G02F1/01
- IPC分类号: G02F1/01 ; B23K26/064
摘要:
在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中,取得激光的波长数、各个波长的值以及激光的入射条件(步骤S101),设定聚光点数、以及各个聚光点上的聚光位置、波长、聚光强度(S104),对于各个聚光点,导出由包含空间光调制器的光学系统赋予激光的失真相位图案(S107)。然后,考虑失真相位图案来设计呈现于空间光调制器的调制图案(S108)。另外,在调制图案的设计中,使用着眼于一个像素中的相位值的影响的设计法并且在评价聚光点上的聚光状态的时候使用加上了失真相位图案的传播函数。由此,实现了能够适当地实现激光的聚光控制的光调制控制方法、程序、装置以及激光照射装置。
公开/授权文献
- CN103917914B 光调制控制方法、控制程序、控制装置以及激光照射装置 公开/授权日:2016-11-30