发明公开
- 专利标题: 用于三维集成电路的装置和方法
- 专利标题(英): Apparatus and method for three dimensional integrated circuits
-
申请号: CN201310067840.5申请日: 2013-03-04
-
公开(公告)号: CN103855132A公开(公告)日: 2014-06-11
- 发明人: 吴胜郁 , 蔡佩君 , 张志鸿 , 郭庭豪 , 陈承先
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 孙征
- 优先权: 13/706,436 2012.12.06 US
- 主分类号: H01L23/58
- IPC分类号: H01L23/58
摘要:
本发明公开了用于三维集成电路的装置和方法,其中,一种结构包括:衬底,包括位于衬底上的多条线;多个连接件,形成在半导体管芯的顶面上,半导体管芯形成在衬底上并通过多个连接件和形成在衬底顶面的角部处的伪金属结构连接至衬底,伪金属结构具有两个不连续部分。
公开/授权文献
- CN103855132B 用于三维集成电路的装置和方法 公开/授权日:2016-09-14
IPC分类: