用于物理气相沉积腔室靶材的冷却环
摘要:
提供用于物理气相沉积的设备和方法。在一些实施方式中,在物理气相沉积腔室中冷却靶材的冷却环可包括环形主体,环形主体具有中心开口;入口端口,该入口端口耦接至主体;出口端口,该出口端口耦接至主体,冷却剂通道,该冷却剂通道设置在主体中并且具有第一端部和第二端部,该第一端部耦接至入口端口,该第二端部耦接至出口端口;以及帽件,该帽件耦接至主体并且实质上跨越中心开口,其中该帽件包括中心孔。
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