本发明提供了能够从除雾器容易地去除沉积的颗粒物并使用具有高效地捕集颗粒物的开孔率的除雾器的湿式废气净化装置。该装置使用用于将除雾器50（51）加热至沉积的油质颗粒物表现出低粘度的温度（60℃）或颗粒物自燃的温度（600℃或更高）的加热装置。这导致油质颗粒物因通过清洗水（常温或加热）软化且液化至可在自身重量下滴落的程度而容易地从除雾器中洗掉，或者燃烧后的颗粒物的残留物被完全洗掉，其确保在短期内利用最少量的清洗水去除颗粒物。已经洗掉颗粒物的除雾器50（51）可恢复如新。