Invention Publication
CN103663363A 无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台
无效 - 撤回
- Patent Title: 无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台
- Patent Title (English): Disordered alloy micro-spring, and preparation method and lighthouse thereof
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Application No.: CN201310644730.0Application Date: 2013-12-05
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Publication No.: CN103663363APublication Date: 2014-03-26
- Inventor: 张冬仙 , 史斌 , 胡晓琳 , 伊福廷 , 王波 , 蒋建中 , 章海军
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Agency: 杭州求是专利事务所有限公司
- Agent 林松海
- Main IPC: B81C99/00
- IPC: B81C99/00 ; G03F7/20

Abstract:
本发明公开了一种无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台。弹簧结构为螺旋型,整体尺寸在百微米量级到毫米级别;材料为Ni-Nb基无序合金材料,杨氏模量大于180GPa,弹性极限大于2%。制备方法,1)制备一个PMMA光刻胶圆柱;2)将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光;3)进行显影,得到显影后的制备弹簧的PMMA模具;4)用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材;5)通过磁控溅射制备无序合金薄膜层;6)释放得到无序合金微弹簧。本发明将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合,突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈,填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺,拓展了3D金属微器件的加工思路,微弹簧表面平整光滑,形状理想。
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