无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台
Abstract:
本发明公开了一种无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台。弹簧结构为螺旋型,整体尺寸在百微米量级到毫米级别;材料为Ni-Nb基无序合金材料,杨氏模量大于180GPa,弹性极限大于2%。制备方法,1)制备一个PMMA光刻胶圆柱;2)将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光;3)进行显影,得到显影后的制备弹簧的PMMA模具;4)用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材;5)通过磁控溅射制备无序合金薄膜层;6)释放得到无序合金微弹簧。本发明将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合,突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈,填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺,拓展了3D金属微器件的加工思路,微弹簧表面平整光滑,形状理想。
Patent Agency Ranking
0/0