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吸引夹持器及具备其的移载装置
Abstract:
本发明提供简单地构成了对各喷嘴的压缩空气的供给通道的吸引夹持器。吸引夹持器具备具有与工件相对的相对面(31)的平板状的主体。在主体上形成从相对面(31)喷出气体的多个吸引单元、对各吸引单元提供压缩空气的供给通道、以及沿厚度方向贯穿主体的多个排气孔。每个吸引单元具备具有在相对面(31)上开口的圆形喷出口(41)的圆柱状空间(45)、在圆柱状空间(45)的内周壁上开口的多个喷嘴(44)。供给通道具备将压缩空气分配给多个喷嘴(44)的每一个的分配通道(62)以及给分配通道(62)提供压缩空气的共同供给通道(47)。并且,吸引单元、分配通道(62)及共同供给通道(47)被形成在相互不同的金属板上。
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