发明授权
CN103649764B 非机械性接触信号测量装置及其信号测量方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 非机械性接触信号测量装置及其信号测量方法
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申请号： CN201280035123.8申请日： 2012-07-10
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公开(公告)号： CN103649764B公开(公告)日： 2017-06-09
- 发明人: A·凯帝谢微奇 , O·卡达 , A·格雷勒 , R·骆文格 , A·葛罗斯 , D·托特
- 申请人： 奥宝科技股份有限公司 , 烽腾科技有限公司
- 申请人地址： 以色列雅尼市81102第215号邮政信箱;
- 专利权人： 奥宝科技股份有限公司,烽腾科技有限公司
- 当前专利权人： 奥宝科技股份有限公司,烽腾科技有限公司
- 当前专利权人地址： 以色列雅尼市81102第215号邮政信箱;
- 代理机构： 北京汇智英财专利代理事务所
- 代理商 潘光兴
- 优先权： 61/508，578 20110715 US
- 国际申请： PCT/US2012/046100 2012.07.10
- 国际公布： WO2013/012616 EN 2013.01.24
- 进入国家日期： 2014-01-15
- 主分类号： G01R31/305
- IPC分类号： G01R31/305
摘要：
本发明提供一种非机械性接触信号测量装置，其包括：位于待测结构上的第一导体以及接触所述第一导体的气体。至少一电子束被引导至所述气体中，以在所述至少一电子束穿过所述气体之处在所述气体中形成等离子体。第二导体电性接触所述等离子体。当所述等离子体被引导于所述第一导体上时，信号源经由所述第一导体、所述等离子体及所述第二导体耦接至电性测量设备。所述电性测量设备可响应于所述信号源。
公开/授权文献
- CN103649764A 使用电子束感应电浆探针对电子设备进行电性检测 公开/授权日：2014-03-19
