基于溶液生长法的SiC单晶体的制造装置及其坩埚
摘要:
一种SiC单晶体的制造装置既抑制SiC溶液的周边区域的温度不均匀,同时又冷却SiC种结晶的附近区域。该SiC单晶体的制造装置包括籽晶轴(30)以及坩埚(14)。籽晶轴(30)具有供SiC种结晶(36)安装的下端面(34)。坩埚(14)用于容纳SiC溶液(16)。坩埚(14)包括主体(140)、中盖(42)和上盖(44)。主体(140)包括第1筒部(38)和配置于第1筒部(38)的下端部的底部(40)。中盖(42)配置于主体(140)内的SiC溶液(16)的液面的上方、且是第1筒部(38)内。中盖(42)具有使籽晶轴(30)穿过的第1通孔(48)。上盖(44)配置于中盖(42)的上方。上盖(44)具有使籽晶轴(30)穿过的第2通孔(52)。
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