发明公开
- 专利标题: 一种精密定位一维平台
- 专利标题(英): Precise positioning one-dimensional platform
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申请号: CN201310068434.0申请日: 2013-03-04
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公开(公告)号: CN103219049A公开(公告)日: 2013-07-24
- 发明人: 张璐凡 , 隆志力 , 方记文 , 念龙生 , 李泽湘
- 申请人: 东莞华中科技大学制造工程研究院
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号
- 专利权人: 东莞华中科技大学制造工程研究院
- 当前专利权人: 广东华中科技大学工业技术研究院
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号
- 代理机构: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所
- 代理商 郑自群
- 主分类号: G12B5/00
- IPC分类号: G12B5/00
摘要:
本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。
公开/授权文献
- CN103219049B 一种精密定位一维平台 公开/授权日:2015-04-29