- 专利标题： 基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法
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申请号： CN201310107581.4申请日： 2013-03-30
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公开(公告)号： CN103198991B公开(公告)日： 2015-10-14
- 发明人: 胡海龙 , 郭太良 , 张典 , 李福山 , 杨尊先 , 周雄图 , 张永爱 , 叶芸
- 申请人： 福州大学
- 申请人地址： 福建省福州市鼓楼区工业路523号
- 专利权人： 福州大学
- 当前专利权人： 福州大学
- 当前专利权人地址： 福建省福州市鼓楼区工业路523号
- 代理机构： 福州元创专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡学俊
- 主分类号： H01J29/04
- IPC分类号： H01J29/04 ; H01J9/02
摘要：
本发明涉及一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法，该结构包括一金属底电极层，设置在所述底电极层上的海胆型镍粒子模板，覆盖在所述镍粒子表面的纳米材料或薄膜。利用模板调控场发射阴极尖端的取向和分布密度，以模板上包覆的纳米材料提高场发射性能，解决了场发射器件性能不可控的难题。该阴极结构工作电压低，电子发射效率高，发射稳定可靠，制备工艺简单。
公开/授权文献
- CN103198991A 基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法 公开/授权日：2013-07-10
