Invention Publication
CN103121951A 单体,聚合物和光致抗蚀剂组合物
无效 - 撤回
- Patent Title: 单体,聚合物和光致抗蚀剂组合物
- Patent Title (English): Monomers, polymers and photoresist compositions
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Application No.: CN201210597635.5Application Date: 2012-11-05
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Publication No.: CN103121951APublication Date: 2013-05-29
- Inventor: 孙纪斌 , Y·C·裴 , 朴钟根 , 李承泫 , C·安德斯
- Applicant: 罗门哈斯电子材料有限公司
- Applicant Address: 美国马萨诸塞州
- Assignee: 罗门哈斯电子材料有限公司
- Current Assignee: 罗门哈斯电子材料有限公司
- Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 陈哲锋
- Priority: 61/555,467 2011.11.03 US
- Main IPC: C07C67/11
- IPC: C07C67/11 ; C07C69/67 ; G03F7/09 ; C08F220/32 ; C08F220/28 ; C08F220/18 ; G03F7/004
Abstract:
单体，聚合物和光致抗蚀剂组合物。提供了一种以下通式(I)的单体，其中：R1表示氢或甲基
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