宽带离子束分析器
摘要:
本发明公开了一种宽带离子束分析器,用于从宽带离子束中分离出所需的离子,包括上磁极、下磁极、上励磁线圈、下励磁线圈、分析光栏和磁轭,其中:所述上磁极和下磁极均具有弧形的入射端边界和出射端边界;所述入射端边界和出射端边界的弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径。本发明通过采用具有弧形入射端边界和出射端边界的上磁极和下磁极,且弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径,使得宽带离子束中所需的离子能够在磁场中部理想聚焦,得到焦斑尺寸等于0的理想焦点,可以通过选取合适的最小的分析缝宽度而获得最佳的分析分辨率,实现宽带离子束中所需的离子与其他离子完全分离。
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