发明公开
- 专利标题: 具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统
- 专利标题(英): Semiconductor element testing system with rotary test arms
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申请号: CN201210402732.4申请日: 2012-10-22
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公开(公告)号: CN102945814A公开(公告)日: 2013-02-27
- 发明人: 陈建名 , 蔡译庆 , 欧阳勤一
- 申请人: 致茂电子(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房
- 专利权人: 致茂电子(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 致茂电子(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房
- 代理机构: 北京天平专利商标代理有限公司
- 代理商 孙刚
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
一种具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统,通过电性耦接多个测试仪器至测试系统的一测试区,包含一具有多个承载座以承载待测物的输送装置、位于该测试区内的具有至少一个测试位置的第一测试座、具有至少一个测试位置的第二测试座、第一测试手臂及第二测试手臂,而该第一测试手臂及第二测试手臂,系能够携行待测物运行于该输送装置、第一测试座、第二测试座之间,因此于同一机台上将能够藉由旋动式测试手臂进行两种不同的量测或两个测试座仅用于量测一种功能时,由于具有两个测试座能同时运作,因此能降低整体量测所花费的时间,提升测试速率。
公开/授权文献
- CN102945814B 具有旋动式测试手臂的半导体元件测试系统 公开/授权日:2015-07-22
IPC分类: