AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法
摘要:
本发明公开了一种AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法,将高速切削刀具预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上,以矩形Ti靶作为底层的Ti来源,矩形Ti靶安置在炉体左内壁上,通过矩形靶电弧电源的电流控制矩形Ti靶的溅射率;以圆形AlTi靶作为制备AlTiN涂层的Al、Ti元素来源,圆形AlTi靶共三个,以均布的方式安置在炉体右内壁上,通过圆形AlTi靶电弧电源的电流控制AlTi靶的溅射率;采用高纯Ar作为主要离化气体,保证有效的辉光放电过程;采用高纯N2作为反应气体,使其离化并与Al、Ti元素结合,在高速切削刀具表面沉积形成AlTiN涂层。该AlTiN涂层抗氧化温度可以达到900℃,具有优良的抗氧化性能。
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