发明授权
CN102899613B AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method for AlTiN high-speed cutting tool coating
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申请号: CN201210423182.4申请日: 2012-10-29
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公开(公告)号: CN102899613B公开(公告)日: 2014-06-18
- 发明人: 马胜利
- 申请人: 西安浩元涂层技术有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市阎良国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户
- 专利权人: 西安浩元涂层技术有限公司
- 当前专利权人: 西安浩元涂层技术有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市阎良国家航空高技术产业基地蓝天路5号独立厂房D座西北户
- 代理机构: 西安恒泰知识产权代理事务所
- 代理商 李郑建
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/38
摘要:
本发明公开了一种AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法,将高速切削刀具预处理后放入电弧离子镀膜设备中的转架杆上,以矩形Ti靶作为底层的Ti来源,矩形Ti靶安置在炉体左内壁上,通过矩形靶电弧电源的电流控制矩形Ti靶的溅射率;以圆形AlTi靶作为制备AlTiN涂层的Al、Ti元素来源,圆形AlTi靶共三个,以均布的方式安置在炉体右内壁上,通过圆形AlTi靶电弧电源的电流控制AlTi靶的溅射率;采用高纯Ar作为主要离化气体,保证有效的辉光放电过程;采用高纯N2作为反应气体,使其离化并与Al、Ti元素结合,在高速切削刀具表面沉积形成AlTiN涂层。该AlTiN涂层抗氧化温度可以达到900℃,具有优良的抗氧化性能。
公开/授权文献
- CN102899613A AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法 公开/授权日:2013-01-30
IPC分类: