• 专利标题: 用于传输线的屏蔽结构
  • 申请号: CN201180018461.6
    申请日: 2011-02-17
  • 公开(公告)号: CN102844864B
    公开(公告)日: 2015-08-26
  • 发明人: 陈淑鲜J·T·瓦特
  • 申请人: 阿尔特拉公司
  • 申请人地址: 美国加利福尼亚
  • 专利权人: 阿尔特拉公司
  • 当前专利权人: 阿尔特拉公司
  • 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
  • 代理机构: 北京市金杜律师事务所
  • 代理商 王茂华; 张宁
  • 优先权: 12/709,289 2010.02.19 US
  • 国际申请: PCT/US2011/025194 2011.02.17
  • 国际公布: WO2011/103266 EN 2011.08.25
  • 进入国家日期: 2012-10-10
  • 主分类号: H01L27/04
  • IPC分类号: H01L27/04
用于传输线的屏蔽结构
摘要:
一种屏蔽结构包括:第一梳状结构和第二梳状结构,限定于集成电路上的第一金属化层中,每个梳状结构包括多个齿,每个梳状结构的齿朝着另一齿状结构延伸;第一多个电传导过孔,从第一梳状结构向上延伸;第二多个电传导过孔,从第二梳状结构向上延伸;第一平面结构和第二平面结构,在第一金属化层之上的第二金属化层中;第三多个电传导过孔,从第一平面结构朝着第一多个电传导过孔向下延伸;以及第四多个电传导过孔,从第二平面结构朝着第二多个电传导过孔向下延伸。第一梳状结构和第二梳状结构、第一平面结构和第二平面结构以及第一电传导过孔、第二电传导过孔、第三电传导过孔和第四电传导过孔都在基本上相同电势。在一个实施例中,一个或者多个信号线在第一平面结构与第二平面结构之间位于第二金属化层中;并且在另一实施例中,它们位于第一金属化层与第二金属化层之间的第三金属化层中。
公开/授权文献
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