发明授权
- 专利标题: 高压LDMOS器件及其制造方法
- 专利标题(英): High-voltage LDMOS (Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor) device and manufacture method for same
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申请号: CN201010595992.9申请日: 2010-12-20
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公开(公告)号: CN102543738B公开(公告)日: 2013-12-18
- 发明人: 张帅 , 刘坤
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/265 ; H01L29/78 ; H01L29/06
摘要:
本发明公开了一种高压LDMOS器件的制造方法,包括如下步骤:第1步,在衬底上采用光刻和离子注入工艺形成一个与衬底的掺杂类型相反的漂移区。第2步,在硅片表面制造隔离结构。第3步,在衬底和漂移区采用光刻和离子注入工艺形成与衬底的掺杂类型相同的体区和漂移区反型层。第4步,在硅片表面生长栅氧化层和多晶硅,刻蚀该层多晶硅从而形成多晶硅栅极和漏端多晶硅场板。第5步,在体区和漂移区中进行重掺杂离子注入形成体电极引出端、源区引出端和漏区引出端;再在硅片表面淀积一层介电层、在介质层上形成接触孔、在各接触孔中形成金属电极。本发明在保证高压LDMOS器件的性能的前提下,减少了工艺步骤、降低了制造成本,并可在BCD工艺平台的集成。
公开/授权文献
- CN102543738A 高压LDMOS器件及其制造方法 公开/授权日:2012-07-04
IPC分类: