发明授权
- 专利标题： 光检测器
- 专利标题（英）： Photodetector
-
申请号： CN201080031452.6申请日： 2010-07-07
-
公开(公告)号： CN102473790B公开(公告)日： 2014-08-27
- 发明人: 藁科祯久 , 石原正敏 , 铃木智史
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权： 2009-164766 2009.07.13 JP
- 国际申请： PCT/JP2010/061549 2010.07.07
- 国际公布： WO2011/007703 JA 2011.01.20
- 进入国家日期： 2012-01-12
- 主分类号： H01L31/10
- IPC分类号： H01L31/10 ; G01J1/02
摘要：
光检测器(1)中，由低电阻Si基板(3)、绝缘层(4)、高电阻Si基板(5)及Si光电二极管(20)，构成相对于配置于凹部(6)内的InGaAs光电二极管(30)的气密密封封装，由低电阻Si基板(3)的电气通路部(8)及配线膜(15)，达成相对于Si光电二极管(20)及InGaAs光电二极管(30)的电性配线。然后，相对于Si光电二极管(20)的p型区域(22)设置于Si基板(21)的背面(21b)侧的部分，InGaAs光电二极管(30)的p型区域(32)设置于InGaAs基板(31)的表面(31a)侧的部分。
公开/授权文献
- CN102473790A 光检测器 公开/授权日：2012-05-23
IPC分类:
