发明公开
CN102469675A 功率匹配装置和半导体设备
无效 - 撤回
- 专利标题: 功率匹配装置和半导体设备
- 专利标题(英): Power matching apparatus and semiconductor equipment
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申请号: CN201010537743.4申请日: 2010-11-05
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公开(公告)号: CN102469675A公开(公告)日: 2012-05-23
- 发明人: 张良
- 申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 专利权人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 黄德海
- 主分类号: H05H1/46
- IPC分类号: H05H1/46 ; H01L21/00
摘要:
本发明公开了一种用于半导体设备的功率匹配装置,包括:传感器,所述传感器与所述半导体设备的功率源相连,用于采集来自所述功率源的信号,获得阻抗调整量;和匹配网络,所述匹配网络与所述传感器相连,用于根据来自所述传感器的阻抗调整量,调整所述匹配网络的输出阻抗以与所述半导体设备的反应腔室的输入阻抗相匹配,且用于滤除与所述功率源的信号频率不同的信号。由此,可使上电极和下电极使用的电源和功率匹配装置正常工作,并且不会影响功率匹配装置的匹配范围。本发明进一步公开了一种半导体设备。
IPC分类: