发明授权
- 专利标题: 光刻投影设备和器件制造方法
- 专利标题(英): Lithographic projection apparatus and device manufacturing method
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申请号: CN201080017184.2申请日: 2010-01-28
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公开(公告)号: CN102405560B公开(公告)日: 2015-02-11
- 发明人: J·戴门 , J·范杜凡波第 , H·范豪特
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维德霍温
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维德霍温
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴敬莲
- 优先权: 61/170,851 2009.04.20 US
- 国际申请: PCT/EP2010/051017 2010.01.28
- 国际公布: WO2010/121844 EN 2010.10.28
- 进入国家日期: 2011-10-18
- 主分类号: H01R13/03
- IPC分类号: H01R13/03
摘要:
一种电连接器,适于例如在低压强环境中连接高电压承载电缆,电连接器包括:具有导电表面的壳体和多个电缆插入部分,每一个电缆插入部分包括:导电体,配置用以连接至电缆;和绝缘套管,围绕所述导电体,其中所述壳体围绕所述多个电缆插入部分。
公开/授权文献
- CN102405560A 光刻投影设备和器件制造方法 公开/授权日:2012-04-04