形成倒装芯片互连的原位熔化和回流处理及其系统
Abstract:
一种用于制造倒装芯片半导体封装的方法,该方法包括处理半导体器件(例如半导体芯片)以及处理器件载体(例如衬底)。半导体器件包括在其表面上形成的凸块结构。衬底包括在其表面上形成的焊接焊盘。半导体芯片被加热至芯片处理温度。芯片处理温度使凸块结构上的焊料部分熔化。衬底被加热至衬底处理温度,其中,所述衬底处理温度可以不同于芯片处理温度。半导体芯片在空间上关于衬底进行对准,从而相应地使凸块结构关于焊接焊盘进行对准。半导体芯片朝向衬底移动,从而使凸块结构邻接焊接焊盘,从而在它们之间形成焊接。还公开了执行上述方法的系统。
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