用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台
摘要:
本发明涉及多晶硅铸锭炉设备,旨在提供一种用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台。该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换,设有气体入口和气体出口,热交换台的内部设置冷却气通道,并与前述气体入口和气体出口相连。相比辐射降温和水冷式的冷却技术,本发明中的热交换台在用于气体致冷时控制能力强、工业可控性高,而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀,有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核,可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。
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