发明公开
- 专利标题: 用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台
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申请号: CN201110218651.4申请日: 2011-08-01
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公开(公告)号: CN102268728A公开(公告)日: 2011-12-07
- 发明人: 傅林坚 , 石刚 , 叶欣 , 曹建伟 , 邱敏秀
- 申请人: 上虞晶信机电科技有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 专利权人: 上虞晶信机电科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人: 上虞晶信机电科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 代理机构: 杭州中成专利事务所有限公司
- 代理商 金祺
- 主分类号: C30B28/06
- IPC分类号: C30B28/06 ; C30B11/00 ; C30B29/06
摘要:
本发明涉及多晶硅铸锭炉设备,旨在提供一种用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台。该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换,设有气体入口和气体出口,热交换台的内部设置冷却气通道,并与前述气体入口和气体出口相连。相比辐射降温和水冷式的冷却技术,本发明中的热交换台在用于气体致冷时控制能力强、工业可控性高,而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀,有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核,可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。
公开/授权文献
- CN102268728B 用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台 公开/授权日:2013-08-14
IPC分类: