发明授权
CN102265220B 确定特性的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 确定特性的方法
- 专利标题（英）： Method of determining characteristic
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申请号： CN200980152725.X申请日： 2009-12-21
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公开(公告)号： CN102265220B公开(公告)日： 2014-03-12
- 发明人: H·麦根斯 , J·范德尔斯 , A·基尔 , J·奎达克尔斯 , 毛瑞特斯·范德查尔 , C·李维斯 , H·范拉尔霍温
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴敬莲
- 优先权： 61/141,414 2008.12.30 US
- 国际申请： PCT/EP2009/067620 2009.12.21
- 国际公布： WO2010/076254 EN 2010.07.08
- 进入国家日期： 2011-06-27
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
第一目标群和第二目标群蚀刻在衬底中。第二目标群具有相对于第一目标群的不对称性。这能够允许区分不同的目标群并且确定不同目标群的特性。
公开/授权文献
- CN102265220A 确定特性的方法 公开/授权日：2011-11-30
IPC分类:
