一种平、台结合双向二极管芯片及制作工艺
摘要:
本发明公开了一种平、台结合双向二极管芯片,由P型原始硅片加工而成,芯片的两面靠近两端处均设置有一次氧化层,芯片的两面还设置有磷扩散层,所述一次氧化层和所述磷扩散层上还设置有二次氧化层,二次氧化层与一次氧化层的重叠区域内开有台面槽,台面槽上设有氮化硅钝化层,芯片两面的表层还设置有镍层。本发明还公开了一种平、台结合双向二极管芯片的制作工艺,包括以下步骤:一次氧化、光刻、磷扩散、二次氧化、光刻台面槽、钝化、光刻引线孔、渡镍、切割得到独立芯片。本发明的优点在于:由于硅片机械强度高,不易碎片,所以划片(或称为切割)的效率大大提高,比GPP工艺提高40%以上,能够节约整个图形的面积约20%。
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