发明公开
CN102157325A 等离子体处理装置和等离子体处理方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 等离子体处理装置和等离子体处理方法
- 专利标题(英): Plasma processing apparatus and plasma processing method
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申请号: CN201010589485.4申请日: 2010-10-27
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公开(公告)号: CN102157325A公开(公告)日: 2011-08-17
- 发明人: 山泽阳平 , 舆水地盐 , 齐藤昌司 , 传宝一树 , 山涌纯
- 申请人: 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 2009-245988 2009.10.27 JP; 2009-245991 2009.10.27 JP; 2010-215113 2010.09.27 JP
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32 ; H01L21/00 ; H05H1/46
摘要:
本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。在感应耦合型等离子体工艺中,采用简单的补正线圈自由且精细地控制等离子体的密度分布。在该感应耦合型等离子体处理装置中,在与RF天线(54)接近的电介质窗(52)之下炸面饼圈状地产生感应耦合等离子体,使该炸面饼圈状的等离子体分散在大的处理空间内,在基座(12)附近(即半导体晶片W上)使等离子体的密度平均化。并且,使基座(12)附近的等离子体密度分布在径向上均匀化,由补正环(70)对RF天线(54)产生的RF磁场实施电磁场的补正,而且能够根据工艺条件由开关机构(110)改变补正线圈(70)的通电占空比。
公开/授权文献
- CN102157325B 等离子体处理装置和等离子体处理方法 公开/授权日:2015-05-06