等离子体处理装置和等离子体处理方法
摘要:
本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。在感应耦合型等离子体工艺中,采用简单的补正线圈自由且精细地控制等离子体的密度分布。在该感应耦合型等离子体处理装置中,在与RF天线(54)接近的电介质窗(52)之下炸面饼圈状地产生感应耦合等离子体,使该炸面饼圈状的等离子体分散在大的处理空间内,在基座(12)附近(即半导体晶片W上)使等离子体的密度平均化。并且,使基座(12)附近的等离子体密度分布在径向上均匀化,由补正环(70)对RF天线(54)产生的RF磁场实施电磁场的补正,而且能够根据工艺条件由开关机构(110)改变补正线圈(70)的通电占空比。
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