发明授权
- 专利标题： 调焦调平测量装置
- 专利标题（英）： Focusing and levelling measuring device
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申请号： CN201010022991.5申请日： 2010-01-19
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公开(公告)号： CN102129183B公开(公告)日： 2014-05-21
- 发明人: 卢丽荣 , 李志丹 , 陈飞彪
- 申请人： 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址： 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市张江高科技园区张东路1525号
- 代理机构： 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00
摘要：
本发明公开了一种调焦调平测量装置，通过在任一侧的测量光路上设置第一偏置平板和第二偏置平板，第一偏置平板绕第一坐标轴旋转第一角度以补偿投影物镜焦面的漂移，第二偏置平板分别绕第二坐标轴和第三坐标轴旋转第二角度和第三角度以补偿第一偏置平板的旋转所引起的像差，从而能够在较大范围内补偿投影物镜焦面的漂移，同时又能保证成像质量。
公开/授权文献
- CN102129183A 调焦调平测量装置 公开/授权日：2011-07-20
