发明授权
- 专利标题： 对等离子体显示器面板的基板形成保护膜的方法以及该保护膜的形成装置
- 专利标题（英）： Method for forming protective film on plasma display panel bases, and device for forming the protective film
-
申请号： CN200980129084.6申请日： 2009-09-18
-
公开(公告)号： CN102119237B公开(公告)日： 2013-02-13
- 发明人: 饭岛荣一 , 箱守宗人
- 申请人： 株式会社爱发科
- 申请人地址： 日本神奈川
- 专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址： 日本神奈川
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 崔成哲
- 优先权： 2008-240782 2008.09.19 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/066350 2009.09.18
- 国际公布： WO2010/032817 JA 2010.03.25
- 进入国家日期： 2011-01-26
- 主分类号： C23C14/30
- IPC分类号： C23C14/30 ; H01J9/02 ; H01J9/46
摘要：
本发明提供一种保护膜的形成方法以及该形成装置，为了对构成32英寸以上的平板显示器的基板形成保护膜，无需使装置大型化，无需托架等，维护性优良。一种对32英寸以上的等离子体显示器面板的基板形成保护膜的方法，其特征在于，以在成膜室内的规定的位置使所述基板静止的状态下，与所述基板对置地配置多个蒸发源，对所述各蒸发源照射电子束而进行成膜。
公开/授权文献
- CN102119237A 对等离子体显示器面板的基板形成保护膜的方法以及该保护膜的形成装置 公开/授权日：2011-07-06
IPC分类:
