• 专利标题: 心跳型单结构三轴微机电陀螺仪
  • 专利标题(英): Heartbeat type single structure three-axis micro-electromechanical gyroscope
  • 申请号: CN201110037594.X
    申请日: 2011-02-14
  • 公开(公告)号: CN102116622A
    公开(公告)日: 2011-07-06
  • 发明人: 孙博华王琳
  • 申请人: 孙博华
  • 申请人地址: 广东省广州市增城新塘镇广园东碧桂园凤凰城凤盈苑十一街1座702房
  • 专利权人: 孙博华
  • 当前专利权人: 孙博华
  • 当前专利权人地址: 广东省广州市增城新塘镇广园东碧桂园凤凰城凤盈苑十一街1座702房
  • 代理机构: 广州知友专利商标代理有限公司
  • 代理商 周克佑
  • 主分类号: G01C19/56
  • IPC分类号: G01C19/56 B81B3/00
心跳型单结构三轴微机电陀螺仪
摘要:
本发明公开了一种心跳型单结构三轴微机电陀螺仪,它包括衬底以及轴结构,所述的轴结构包括水平轴结构和z轴结构,所述的水平轴结构和z轴结构分别安装在所述衬底上,该陀螺仪采用径向收缩-扩张的心跳型单一驱动模式,各轴均使用独立的感应结构。水平轴结构沿x、y轴对称布置,z轴结构共四组,分布在水平轴结构之间并且两两对称,相邻的水平轴结构和z轴结构之间在外侧使用脐带连接,使得三轴结构获得单一驱动,每个水平轴的两个质量块用十字连接器相连,感应时可实现相位相反的同步运动,z轴四个质量块用四个同步协调器依次连接,可以实现质量块在感应时的同步运动。x、y、z轴三轴均实现驱动与检测的互相解耦。
公开/授权文献
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