发光二极管的玻璃-硅圆片级板上芯片封装方法
摘要:
本发明公开一种利用发光二极管的玻璃-硅圆片级板上芯片(chiponboard,COB)封装方法,包括以下步骤:第一步,刻蚀硅微槽阵列,微槽之间通过微流道相连通,在微槽内放置适量的热释气剂;第二步,将带有图案和热释气剂的上述Si圆片与硼硅玻璃圆片在空气中或者真空中阳极键合形成密封腔体;第三步,加热,并保温,形成球形玻璃微腔,热却至常温,退火,去除硅得到圆片级玻璃微腔;第四步,引线基板的制备;第五步,芯片贴装、引线;第六步,圆片级键合;第七步,填充硅胶,实现LED的圆片级封装。该发明集成了圆片级的LED反光杯,降低了热阻,降低了成本。
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