双面图形芯片倒装先镀后刻模组封装方法
摘要:
本发明涉及一种双面图形芯片倒装先镀后刻模组封装方法,所述方法包括以下工艺步骤:取金属基板;金属基板正面进行金属层电镀被覆;金属基板进行背面蚀刻作业;金属基板背面进行包封无填料的塑封料(环氧树脂)作业;金属基板正面进行各图形的蚀刻作业,蚀刻出引脚的正面,且使所述引脚的背面尺寸小于引脚的正面尺寸,形成上大下小的引脚结构;装片;半成品正面进行包封有填料塑封料(环氧树脂)作业;引脚的背面进行金属层电镀被覆;切割,使原本以列阵式集合体方式连在一起的芯片一颗颗独立开来,制得双面图形芯片倒装模组封装结构成品。本发明方法制备的芯片封装结构不会再有产生掉脚的问题。
公开/授权文献
0/0