发明授权
- 专利标题: 双面图形芯片倒装先镀后刻模组封装方法
- 专利标题(英): Double-sided graphics chip flip-chip module packaging method adopting plating firstly and etching secondly
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申请号: CN201010272999.7申请日: 2010-09-04
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公开(公告)号: CN102005430B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: 王新潮 , 梁志忠
- 申请人: 江苏长电科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省江阴市开发区滨江中路275号
- 专利权人: 江苏长电科技股份有限公司
- 当前专利权人: 江苏长电科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省江阴市开发区滨江中路275号
- 代理机构: 江阴市同盛专利事务所
- 代理商 唐纫兰
- 主分类号: H01L23/495
- IPC分类号: H01L23/495 ; H01L21/48 ; H01L21/50 ; H01L23/31 ; H01L25/00
摘要:
本发明涉及一种双面图形芯片倒装先镀后刻模组封装方法,所述方法包括以下工艺步骤:取金属基板;金属基板正面进行金属层电镀被覆;金属基板进行背面蚀刻作业;金属基板背面进行包封无填料的塑封料(环氧树脂)作业;金属基板正面进行各图形的蚀刻作业,蚀刻出引脚的正面,且使所述引脚的背面尺寸小于引脚的正面尺寸,形成上大下小的引脚结构;装片;半成品正面进行包封有填料塑封料(环氧树脂)作业;引脚的背面进行金属层电镀被覆;切割,使原本以列阵式集合体方式连在一起的芯片一颗颗独立开来,制得双面图形芯片倒装模组封装结构成品。本发明方法制备的芯片封装结构不会再有产生掉脚的问题。
公开/授权文献
- CN102005430A 双面图形芯片倒装先镀后刻模组封装方法 公开/授权日:2011-04-06
IPC分类: