发明授权
CN101972753B 镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法
- 专利标题(英): Method for cleaning surface of magnesium aluminum alloy subjected to chemically mechanical polishing
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申请号: CN201010231659.X申请日: 2010-07-21
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公开(公告)号: CN101972753B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: 刘玉岭 , 王如 , 檀柏梅 , 徐文忠
- 申请人: 河北工业大学
- 申请人地址: 天津市红桥区光荣道8号
- 专利权人: 河北工业大学
- 当前专利权人: 河北工业大学
- 当前专利权人地址: 天津市红桥区光荣道8号
- 代理机构: 天津市三利专利商标代理有限公司
- 代理商 肖莉丽
- 主分类号: B08B3/08
- IPC分类号: B08B3/08
摘要:
本发明公开了一种镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法,旨在提供一种能够降低镁铝合金材料碱性化学机械抛光的后续加工成本,使用方法简单易行,能够提高晶片表面质量的清洗方法。取电阻为18MΩ以上的超纯水边搅拌边加入非离子表面活性剂和FA/O螯合剂;采用电阻为18MΩ以上的超纯水稀释阻蚀剂;将稀释后的阻蚀剂边搅拌边加入到上述液体中,搅拌均匀后得到水溶性表面清洗液,使用得到的水溶性表面清洗液迅速对碱性化学机械抛光后的镁铝合金材料采用大流量低压力条件下进行抛光清洗;用电阻为18MΩ以上的超纯水在零压力、大流量条件下冲洗。
公开/授权文献
- CN101972753A 镁铝合金化学机械抛光后表面清洗方法 公开/授权日:2011-02-16
IPC分类: