发明公开
CN101944553A 硅片的硼铝共吸杂方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 硅片的硼铝共吸杂方法
- 专利标题(英): Boron and aluminum common gettering method for silicon wafer
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申请号: CN201010283047.5申请日: 2010-09-16
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公开(公告)号: CN101944553A公开(公告)日: 2011-01-12
- 发明人: 杨德仁 , 樊瑞新 , 顾鑫 , 余学功
- 申请人: 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理商 胡红娟
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种硅片的铝硼共吸杂的方法,包括如下步骤:制备掺硼铝源,硅片清洗,利用镀膜技术在硅片表面形成硼铝层,一步或多步退火,硅片表层去除。本发明利用了硼相对铝在硅中有较大固溶度的特点,在铝中掺入硼,利用铝和硅的合金化过程将硼掺入到重掺层中,得到掺杂浓度很高的铝硼共吸杂层。本发明的铝硼共吸杂的方法,可以在相同退火温度下,形成更深、均匀、掺杂浓度更高的吸杂层;而且可以在较低的温度下达到其他工艺的吸杂效果,减少了高温对硅片性能的影响。本发明的铝硼共吸杂的方法具有成本低、易操作、吸杂效果好的特点,具有较大的应用前景。
公开/授权文献
- CN101944553B 硅片的硼铝共吸杂方法 公开/授权日:2012-05-09
IPC分类: