发明公开

硅片的硼铝共吸杂方法
摘要:
本发明公开了一种硅片的铝硼共吸杂的方法,包括如下步骤:制备掺硼铝源,硅片清洗,利用镀膜技术在硅片表面形成硼铝层,一步或多步退火,硅片表层去除。本发明利用了硼相对铝在硅中有较大固溶度的特点,在铝中掺入硼,利用铝和硅的合金化过程将硼掺入到重掺层中,得到掺杂浓度很高的铝硼共吸杂层。本发明的铝硼共吸杂的方法,可以在相同退火温度下,形成更深、均匀、掺杂浓度更高的吸杂层;而且可以在较低的温度下达到其他工艺的吸杂效果,减少了高温对硅片性能的影响。本发明的铝硼共吸杂的方法具有成本低、易操作、吸杂效果好的特点,具有较大的应用前景。
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