具有大纵横比圆柱形电容器的半导体器件及其制造方法
摘要:
本发明公开具有大纵横比圆柱形电容器的半导体器件及其制造方法。所述大纵横比圆柱形电容器是不容易在防护环中产生阻挡物缺陷和损失的稳定结构。半导体器件包括圆柱形电容器结构、存储节点氧化物、防护环孔、导电层和覆盖氧化物。单元区域中的圆柱形电容器结构包括圆柱形下电极、电介质和上电极。存储节点氧化物位于半导体基板上的外围区域中。导电层涂覆在防护环孔中。防护环孔位于半导体基板上的外围区域中的与单元区域邻接的边界处。覆盖氧化物填充导电层内的一部分。间隙填充膜填充导电层内的剩余部分。
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