- 专利标题: 一种低阻高压MOSFET器件及其制造方法
- 专利标题(英): High voltage low resistance MOSFET device and its manufacture method
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申请号: CN201010182350.6申请日: 2010-05-26
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公开(公告)号: CN101901835B公开(公告)日: 2014-02-12
- 发明人: 吉扬永
- 申请人: 成都芯源系统有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市高新西区出口加工区(西区)科新路8号
- 专利权人: 成都芯源系统有限公司
- 当前专利权人: 成都芯源系统有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新西区出口加工区(西区)科新路8号
- 代理机构: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司
- 代理商 徐宏; 詹永斌
- 优先权: 12/474,045 2009.05.28 US
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/10 ; H01L29/36 ; H01L21/336 ; H01L21/22
摘要:
本发明公开了一种高压NMOS,该高压NMOS采用体区双次掺杂方式,其中第二次掺杂以栅极自对准进行,消除了沟道中存在的台阶现象,提高了器件的性能。
公开/授权文献
- CN101901835A 一种低阻高压MOSFET器件及其制造方法 公开/授权日:2010-12-01
IPC分类: